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真空壓力傳感器的工作原理和參數(shù)(真空度傳感器的工作原理是什么)

2022-05-20 18:30:33 知識問答來源:
導(dǎo)讀相信目前很多小伙伴對于真空度傳感器的工作原理是什么都比較感興趣,那么小編今天在網(wǎng)上也是收集了一些與真空度傳感器的工作原理是什么相關(guān)...

相信目前很多小伙伴對于真空度傳感器的工作原理是什么都比較感興趣,那么小編今天在網(wǎng)上也是收集了一些與真空度傳感器的工作原理是什么相關(guān)的信息來分享給大家,希望能夠幫助到大家哦。

真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片(上電極)、上層密封用的玻璃組成,其中下電極濺射在玻璃襯底上,電極上生長一絕緣層;硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。那么真空度傳感器的工作原理是什么呢?

1、真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準信號。

2、真空傳感器是工業(yè)實踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、通風(fēng)管道等眾多行業(yè)。

關(guān)于真空度傳感器的工作原理是什么的相關(guān)內(nèi)容就介紹到這里了。

本文到此結(jié)束,希望對大家有所幫助。


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