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光刻機是干什么用的dm(光刻機是干什么用的)

2022-09-06 07:13:35 知識問答來源:
導讀目前是有很多朋友們對于光刻機是干什么用的這個信息比較感興趣,那么小編也是收集了一些光刻機是干什么用的相關的信息來分享給大家,希望你...

目前是有很多朋友們對于光刻機是干什么用的這個信息比較感興趣,那么小編也是收集了一些光刻機是干什么用的相關的信息來分享給大家,希望你會喜歡哦。

1、

1、光刻機是芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機;有用于封裝的光刻機;還有用于LED制造領域的投影光刻機,同時用于生產(chǎn)芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板。

2、光刻機(MaskAligner)又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。Photolithography(光刻)意思是用光來制作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程。

本文到此結束,希望對大家有所幫助。


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