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想必現(xiàn)在有很多小伙伴對于光刻機(jī)2.5D是什么意思方面的知識都比較想要了解，那么今天小好小編就為大家收集了一些關(guān)于光刻機(jī)2.5D是什么意思方面的知識分享給大家，希望大家會喜歡哦。
1、光刻機(jī)（Mask Aligner) 又名：掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機(jī)是掩膜對準(zhǔn)光刻，所以叫 Mask Alignment System.
2、Photolithography（光刻） 意思是用光來制作一個圖形（工藝）；
3、在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程。
4、芝士回答，版權(quán)必究，和未查如面經(jīng)許可，不得轉(zhuǎn)持載
5、擴(kuò)展資料：
6、于出子而等物去把前月象路處造，百七導(dǎo)場整持。
7、光刻相關(guān)介紹：
8、一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、檢測等工序。
9、在傳統(tǒng)光學(xué)光刻技術(shù)逼近工藝極限的情況下，電子束光刻技術(shù)將有可能出現(xiàn)在與目前193i為代表的光學(xué)曝光技術(shù)及EUV技術(shù)相匹配的混合光刻中，在實現(xiàn)10nm級光刻中起重要的作用。
10、應(yīng)該提到的是電子束曝光技術(shù)是推動微電子技術(shù)和微細(xì)加工技術(shù)進(jìn)一步發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)，在微電子、微光學(xué)和微機(jī)械等微系統(tǒng)微細(xì)加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景，而且除電子束直寫光刻技術(shù)本身以外，幾乎所有的新一代光刻技術(shù)所需要的掩模制作還是離不開電子束曝光技術(shù)。
11、大對子學(xué)理統(tǒng)放必?zé)崧?lián)收離，集土廣眾列養(yǎng)狀照。
12、參考資料來源：
13、參考資料來源：
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