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導(dǎo)讀 相信目前很多小伙伴對于光刻技術(shù)都比較感興趣，那么小搜今天在網(wǎng)上也是收集了一些與光刻技術(shù)相關(guān)的信息來分享給大家，希望能夠幫助到大家哦
1、集成電路制造中利用光學(xué)- 化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)。
2、 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2～3個數(shù)量級(從毫米級到亞微米級)，已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術(shù)；使用波長已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級范圍。
3、光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
本文到此結(jié)束，希望對大家有所幫助。
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