當(dāng)前大家對(duì)于分辨率增強(qiáng)技術(shù)都是頗為感興趣的，大家都想要了解一下分辨率增強(qiáng)技術(shù)，那么小美也是在網(wǎng)絡(luò)上收集了一些關(guān)于分辨率增強(qiáng)技術(shù)的一些信息來(lái)分享給大家，希望能夠幫到大家哦。

1、分辨率增強(qiáng)及技術(shù)（Resolution Enhancement Technique, RET）實(shí)際上就是根據(jù)已有的掩膜版設(shè)計(jì)圖形，通過(guò)模擬計(jì)算確定最佳光照條件，以實(shí)現(xiàn)最大共同工藝窗口（Common Process Window）。

2、這部分工作一般是在新光刻工藝研發(fā)的早期進(jìn)行^。

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