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2、上海微電子裝備有限公司

3、公司坐落于張江高科技園區(qū)內(nèi)，鄰近國家集成電路產(chǎn)業(yè)基地、國家半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)基地和國家863信息安全成果產(chǎn)業(yè)化基地等多個(gè)國家級(jí)基地。公司成立于2002年，主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于IC制造與先進(jìn)封裝、MEMS、TSV3D、TFTOLED等制造領(lǐng)域。

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