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1、據(jù)悉，光刻機(jī)是法國人Nicephore niepce（尼埃普斯）發(fā)明的，起初是Nicephore niepce發(fā)現(xiàn)了一種能夠刻在油紙上的印痕，當(dāng)其出現(xiàn)在了玻璃片上后，經(jīng)過一段時(shí)間的暴曬，透光的部分就會(huì)變得很硬，但是在不透光的部分可以用松香和植物油將其洗掉。

2、光刻機(jī)是一個(gè)制造芯片的機(jī)器，芯片上的圖形模板（微電路）需要用機(jī)器來雕刻。關(guān)于售價(jià)，ASML總裁兼首席執(zhí)行官Peter Wennink10月14日介紹公司三季度業(yè)績(jī)情況時(shí)間接給出了答案。他表示，“我們第三季度的新增訂單達(dá)到29億歐元，其中5.95億歐元來自4臺(tái)EUV設(shè)備?！?EM class=font-color-r>簡(jiǎn)單換算一下，一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)為1.48億歐元，折合人民幣高達(dá)11.74億元。

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