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1、深紫外全固態(tài)激光源（DUV-DPL）是采用半導(dǎo)體激光二極管泵浦固體激光器作為基頻源，經(jīng)多級(jí)非線性變頻產(chǎn)生深紫外激光的激光源。

2、與非線性光源相比，相干光源深紫外全固態(tài)激光（DUV）能量分辨率提高了約1個(gè)量級(jí)，光子流通量提高了約5個(gè)量級(jí)，光子流密度提高了約7個(gè)量級(jí)，可實(shí)現(xiàn)納秒、皮秒和飛秒多種方式運(yùn)轉(zhuǎn)。

3、^{我國(guó)是世界上唯一能夠制造實(shí)用化深紫外全固態(tài)激光器的國(guó)家。}

4、^。

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